Enhanced surface passivation of predictable quantum efficient detectors by silicon nitride and silicon oxynitride/silicon nitride stack

Journal article, Peer reviewed

Published version

Åpne

j_applied_physics_2018_Stokan_et_al_1.5054696.pdf (928.5Kb)

Permanent lenke

http://hdl.handle.net/11250/2580996

Utgivelsesdato

2018

Metadata

Vis full innførsel

Samlinger

• Publikasjoner fra CRIStin [900]
• Vitenskapelige publikasjoner / Scientific publications [787]

Originalversjon

10.1063/1.5054696

Tidsskrift

Journal of Applied Physics